原子層沉積

裝置節點收縮會持續下去,量產過程中的節點為 10 奈米和 7 奈米,開發階段則可達 3 奈米。我們的原子層沉積 (ALD) 工具即使在最細微的節點也能提供您最大程度的精密性與塗層均勻性。

原子層沉積 (ALD) 系統

裝置節點收縮會持續下去,量產過程中的節點為 10 奈米和 7 奈米,開發階段則可達 3 奈米。我們的原子層沉積 (ALD) 工具即使在最細微的節點也能提供您最大程度的精密性與塗層均勻性。參考書目

Firebird™ 系統是全自動批次生產原子層沉積 (ALD) 平台,提供一流的均勻性和同級最佳產量以及最低的……
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