晶圓檢查系統

晶圓檢查系統

Superfast 3D 晶圓檢查系統則是善用 Ultratech 在光學工程、系統整合與材料物理學方面廣泛的知識等主要專長而加以開發。

Veeco Ultratech 超快速 4G 晶圓檢查系統

Superfast 4G 改善了上一代工具,與有更低擁有成本且被用於 FinFET 形貌與變形控制

 

Veeco Ultratech Superfast 4G+ 晶圓檢查系統

Superfast 4G+ 已獲得全面升級,與 4G 相比改善了產量、位移可重複性與邊緣排除