微影系統

微影系統

Ultratech 微影工具的技術優勢以及擁有成本優勢且能支援基礎設施,讓其成為先進封裝市場的低成本、智慧型微影解決方案。

Veeco Ultratech AP200/300 微影系統

Veeco 的微影系統套組建立在可定製的 Unity Platform™ 上,可提供卓越的覆蓋、解析度與側壁剖面效能,並實現高度自動化與高經濟效益的生產製造。