雷射處理系統

雷射處理系統

Ultratech 的商業雷射處理系統為生產超淺接面與高源極/漏極觸點的困難挑戰提供解決方案。

Veeco Ultratech LSA 101 雷射尖峰退火系統

Veeco 的 LSA101 Ultratech 系統獲得全球主要 IDM 與代工廠採用,是 40nm 到 14nm 節點先進邏輯裝置大量製造的首選技術。

Veeco Ultratech LSA 201 環境控制雷射尖峰退火系統

LSA 201 的結構與 LSA 101 相同,但具有獲專利肯定的微腔體設計,實現掃描雷射系統中的全晶圓環境控制。