離子源

離子源

Veeco 可為廣泛的應用提供最全面的離子束來源系列,包括業界唯一的線性柵格 (Linear gridded) 來源。

柵極直流離子源

線性柵格直流離子源久經證實適用於高度均勻、可靠的離子束鍍膜製程平臺,此類平臺主要利用單塊較大/較寬的基材或大塊基材批次。

無柵極終端霍爾離子源

Veeco 的無柵極終端霍爾離子源為真空塗層製程提供高射束電流。

柵極 RF 離子源

Veeco 的柵極 RF 離子源是專為改善長時間離子束鍍膜製程生產所設計。