原子層沉積

原子層沉積

Veeco 的原子層沉積 (ALD) 系統(Firebird™、Savannah®、Fiji® 與 Phoenix®)專為沉積厚度完全一致的無針孔塗層所設計,甚至可以深入孔隙、溝槽與空腔。

推出 Firebird 原子層沉積 (ALD) 系統

Firebird 系統是全自動批次生產原子層沉積 (ALD) 平台,以最優惠的晶圓成本提供一流的均勻性和同級最佳產量。結合經證實的 Veeco 自動化解決方案,以低衝擊批次傳送實現安全晶圓處理。其模組預熱和冷卻設計能實現靈活的溫度管理解決方案,可為您的規格量身打造。Firebird 系統的高容量反應器、低耗件/維護成本與緊湊的佔用空間提供最符合成本效益的解決方案,同時超越您的產量要求。  請按此處瞭解詳細資訊。
 
Firebird 原子層沉積 (ALD) 系統