表面精密處理系統

表面精密處理系統

 晶圓清洗劑/除塵器 - WaferEtch 平台

晶圓清洗劑/除塵器 - WaferEtch 平台

結合矽穿孔露出技術的創新解決方案,適用於晶圓處理

Veeco PSP 的單面和雙面單晶圓清洗技術能為許多應用實現高效率的粒子移除。Veeco 的專利雙面 PVA 刷系統可清洗頂部、底部和側面表面。除了高速噴霧 (HVS) 和超音波外,還提供其他單面 PVA 刷去塵技術,以為了在所有尺寸的晶圓上獲得最有效的清洗效果。

功能

  • 單面和雙面刷選項
  • 高速噴霧可在低壓下實現有效的清洗,以避免基板損壞。
  • 超音波去塵選項 

應用

  • MEMs
  • LED

 

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