雷射處理系統

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Veeco Ultratech LSA 101 雷射尖峰退火系統

Veeco Ultratech LSA 101 雷射尖峰退火系統

LSA101 雷射尖峰退火系統

Veeco 的 LSA101 Ultratech 系統獲得全球主要 IDM 與代工廠選用,是 40nm 到 14nm 節點先進邏輯裝置大量製造的首選採用技術。LSA 的掃描系統建造於訂製的 Unity Platform™ 上,在均勻性與低應力製造方面具有基礎性的優勢,使其可以立即用於目前與未來的裝置節點。LSA101 系統實現了關鍵的毫秒退火製程應用,使顧客能夠維持較高的處理溫度,從而達到更高的設備效能、更低的洩漏與更高的產量。

標準 LSA101 配置採用單一狹窄雷射束來加熱晶圓表面,從基材溫度提升至尖峰退火製程溫度。LSA 雙光束技術用以擴展非熔體雷射退火的應用空間,並具有第二低功率雷射束以實現低溫處理。當使用雙光束時,將加入第二寬的雷射束以便預熱晶圓。雙光束系統提供了調整溫度與應力曲線的靈活性。

 

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