有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統

有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統

LED 生產專用的 TurboDisc EPIK 868 MOCVD 系統

LED 生產專用的 TurboDisc EPIK 868 MOCVD 系統

結合了最大資金、足跡節省與尖端效能

Veeco 的全新 EPIK 868 MOCVD 系統是 LED 業界生產效率最高的 MOCVD 系統,每片晶圓成本比起先前幾代約可降低 22%。EPIK 868 為四反應器組態結構,其突破性技術包括專有的 IsoFlange™ 與 TruHeat™ 技術,能讓同質的層流和分布均勻的溫度通過整個晶圓載具。這些技術創新可產生均勻的波長,在更為緊密的生產需求下帶動更高的產量。EPIK 868 系統與 EPIK 700 系統相比,由於其更大反應器容量與晶圓載具尺寸,提供 2.3 倍的產量優勢。EPIK 868 專為大量生產所設計,可容納 124x4 英寸和 48x6 英寸的晶圓載具。客戶可以輕易地將製程從現有的 TurboDisc 系統轉移至全新的 EPIK 868 MOCVD 平台,快速啟動高品質 LED 的生產。

  • 緊湊型叢集架構
  • 整合且優化的硬體效能
  • 成熟的過渡與製程效能

 

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