有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統

有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統

LED 生產專用的 TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD 系統

LED 生產專用的 TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD 系統

結合同類最佳產量與最高生產效率以降低 LED 製程成本

Veeco 獲獎的 EPIK® 700 MOCVD 系統是 LED 業界生產效率最高的 MOCVD 系統,每片晶圓成本比起先前幾代最多可降低 20%。EPIK700 有單、雙反應器兩種組態結構,其突破性技術包括全新 IsoFlange™ 中心噴射流與 TruHeat™ 晶圓加熱線圈,能讓同質的層流和分布均勻的溫度通過整個晶圓載具。這些技術創新可產生均勻的波長,在更為緊密的生產需求下帶動更高的產量。拜大型反應器之賜,EPIK 700 可提供高出其他系統 2.5 倍的生產量。

EPIK 700 專為大量生產所設計,可容納 31x4 英寸、12x6 英寸和 6x8 英寸的晶圓載具。客戶可以輕易地將製程從現有的 TurboDisc 系統轉移至全新的 EPIK 700 MOCVD 平台,快速啟動高品質 LED 的生產。由於 EPIK 700 MOCVD 平台的彈性特點,未來將有更多的升級、更多的附加優勢以及強化功能持續推出,突顯出此世界級系統的與眾不同。

  • 每片晶圓成本節省,比起先前幾代最多可達 20%
  • 同類最佳的均勻性與製程可重複性,在更為緊密的生產需求下,帶動更高的產量
  • 業界最高生產效率的反應器,可產生比先前幾代反應器高出 2.5 倍之生產量優勢
  • 相較於 MaxBright™ MOCVD 系統,不僅生產效率最高,而且還擁有經實證的自動化能力、增強的服務能力,在維護與佔用空間效率提升之間也拉長了生產活動的時間

聯絡資訊

我們的銷售團隊隨時能提供協助。