離子束濺鍍

離子束濺鍍

光學塗層專用的 SPECTOR-HT Loadlock 離子束飛濺系統

光學塗層專用的 SPECTOR-HT Loadlock 離子束飛濺系統

一流的產量及可複製性,適用於廣泛的應用

Veeco 的 SPECTOR® 承載離子束飛濺系統可為各類應用提供顯著的產量提升。SPECTOR 承載系統能夠在基材載入後五分鐘內開始鍍膜,在鍍膜時間短於批次工具所需的典型預製程步驟之設計中,可輕鬆令產量翻倍。

透過對壓力、溫度、靶表面組成及離子源功率等製程參數維持穩定狀態條件,系統可複製性亦得到增強。由於 SPECTOR 承載系統曝露至空氣及水分頻率較低,使用者大可期望為射頻中和器、腔體襯板及隔層獲得平均維護間隔時間 (MTBM) 提升。該等功能及優勢之組合,令使用者可製造出市面上最高精度及品質的薄膜,而成本只需先前的一小部分。

  • 低/中厚度塗層應用產量顯著提升
  • 透過固有的更穩定製程條件提高可重複性
  • 縮短多個關鍵元件的平均維護間隔時間
  • 改進微粒控制

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