離子束濺鍍

離子束濺鍍

光學塗層專用的 SPECTOR 離子束飛濺系統

光學塗層專用的 SPECTOR 離子束飛濺系統

精密光學薄膜的整體製造

憑藉 Veeco 的 SPECTOR® 離子束飛濺 (IBS) 光學塗層系統,實現更高的精密度及薄膜製程靈活性。SPECTOR 離子束鍍膜 (IBD) 光學塗層系統擁有多種配件選擇,包括夾具、目標組件及先進的光學監控系統,幾乎符合每種光學薄膜加工應用的產量及設備性能要求。

SPECTOR 雙離子束飛濺系統

  • 可互換的平台適用於行星齒輪式、單旋轉式或翻轉夾具
  • 可為電信應用提供高產量的 200、100 及 50 GHz DWDM 過濾器
  • 符合嚴苛的設備規格,比如窄通帶、寬止帶、陡坡及低介入損耗
  • 可生產 AR 塗層、複雜的非四分之一波長塗層以及超低損耗的雷射鏡
  • 可加工出吸收及散射均處於單數位 ppm 級的雷射鏡
  • 高能量製程可產生更好的填充密度及低針孔密度
  • 作壓作業可產生高純度薄膜
  • 一流的薄膜厚度控制

SOURCERER 系統管理器具有獨特的圖形化介面,可顯示實時及動畫移動效果,比市面上任何其他離子束系統控制套件具有更強的控制力及靈活性。使用簡單的命令或輕鬆導入的薄膜設計,製程持師可以開發進階型自動化配方,開始製程運行並在運行完畢時返回。透過 Veeco 一流的製程知識及可靠的全世界服務機構,我們為銷售前後均設定了標準。

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