離子束濺鍍

離子束濺鍍

光學塗層專用的 SPECTOR-HT 離子束飛濺系統

光學塗層專用的 SPECTOR-HT 離子束飛濺系統

以物理氣相沈積速率製造離子束光學薄膜

使用 SPECTOR-HT™ 高階離子束飛濺系統,以更佳的生產效率和產量,生產最高品質的精確光學薄膜。憑著我們 SPECTOR® 系列離子束系統久經證明的效能,SPECTOR-HT 系統能夠提供極佳的層厚度控制能力、更高的製程穩定性,以及業界最低的光學耗損。

SPECTOR-HT 是為了改善目標材料利用率、光學端點控制及製程時間等主要生產參數而設計,可供尖端光學干擾塗層應用,例如帶通濾波器、分光器及被動式雷射。SPECTOR-HT 能給予廠商離子束濺鍍 (IBS) 技術的數量優勢:較低的散射損耗、較高的薄膜純度、穩定的鍍膜速率及小於 0.1 奈米的薄膜厚度控制能力,加上更為強大的套件,可大幅提高生產量並降低擁有成本。

  • 透過更佳的鍍膜速率和增加的批量大小,最高可提升 400% 系統生產量
  • 改善材料利用率最高可提升 300% 的目標材料利用率、降低維護需求,並改善整體擁有成本
  • 增強的薄膜均勻性優化工具幾何角度可結合固有的 IBS 製程技術優勢,提供達 50% 更佳的材料均勻性
  • SPECTOR-HT 專為製程彈性而設計,在多方面提升製程的彈性:我們的新一代製程控制系統,對操作員而言更易於使用,且更大的批量大小提供更多程序選擇,而穩定的鍍膜速率則讓您可以進行無人值守的系統作業
  • 頗具聲望的 2013 年百大科技研發獎 (R&D 100 Award) 得主

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