氣體及蒸汽傳送系統

氣體及蒸汽傳送系統

精確氣體混合系統

精確氣體混合系統

改進氣體混合濃度,適用於高產量生產

Veeco 的 精確氣體混合系統可產生濃度控制得到增強的氣體混合,適用於更細緻的製程控制,能帶來更高產量。混合濃度主動控制功能可補償上遊氣流濃度中的變化或波動。例如:從 1% 的摻雜物預混合中,Piezocon 精密氣體混合系統可在罐與罐之間以及罐的整個使用期間產生 50 ppm 的摻雜物氣體混合物,具有 ± 0.5 ppm 或更好的濃度控制。

  • 成本節省:以純氣體或高濃度混合氣體為來源,減少了氣罐更換頻率,使工具停工時間降至最低;高投資報酬率 (ROI)
  • 用途廣泛:可處理最常用的前驅或摻質氣體混合物
  • 方便使用:允許製程工程師在使用點從大範圍的濃度中指示製程所需的濃度
  • 簡化物流:允許工廠工程師減少多種濃度氣體混合物的庫存
  • 作用簡單:友好的使用者介面可選擇活性氣體及稀釋氣體,並設定使用點所需的濃度
  • 緊湊小巧:可安裝在小型通風外殼或氣體分流箱 (VMB) 中

為了遵守業界安全協定,這套氣體混合系統必須安裝在符合 SEMI 國際標準的標準氣室內。

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