氣體及蒸汽傳送系統

氣體及蒸汽傳送系統

Piezocon 氣體濃度感測器

Piezocon 氣體濃度感測器

可複製蒸汽傳送控制的行業標準

Piezocon® 氣體濃度感測器已成為眾多半導體廠商的行業標準,適用於 CVD 和 MOCVD 製程工具中化學前驅蒸汽及摻質氣體的準確監控及可複製傳送控制。

憑藉久經生產證實的全球 5,000 多例安裝,Piezocon 系統可提供:

  • 透過緊密控制製程氣體及前驅化學蒸汽的傳送,改進製程可複製性及增加產量
  • 透過實現前驅化學品之更高效使用、擴展前驅化學來源之用途及縮短流通風持續時間,降低作業成本
  • 對設備及製程工程師直接有益的量性資訊可提供更簡單的工具間匹配
  • 透過內建診斷工具可為氣體及蒸汽傳送系統之故障排除功能提供援助

精確氣體混合系統

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