表面精密處理系統

表面精密處理系統

金屬剝離 - WaferStorm 平台

金屬剝離 - WaferStorm 平台

專有 ImmJET 晶圓製程技術

此種以溶劑為基礎的系統整合了 Veeco 的 ImmJET 技術,能夠提升產量、提高生產能力,其化學藥劑成本比傳統濕式機台或單一噴塗工具更低。浸沒站係在低含氧的環境下運作,能維持較長的浸潤壽命。在浸沒槽的浸泡之後,隨即會在噴塗腔體中進行剝離。

功能

  • 熱式浸沒槽
  • 高壓噴塗腔體
  • 剝離材料過濾系統
  • 高壓流量監控
  • 低化學消耗

 應用

  • MEMS
  • LED/VCSEL
  • RF 元件
  • 電力電子技術
  • 化合物半導體
  • 資料儲存
 

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