表面精密處理系統

表面精密處理系統

介電質蝕刻 - WaferEtch 平台

介電質蝕刻 - WaferEtch 平台

結合矽穿孔露出技術的創新解決方案,適用於晶圓處理

功能

  • 絕佳製程控制
  • 無交叉污染
  • 最低擁有成本

應用:

  • MEMS
  • RF
  • 電力電子技術
  • LED
  • 資料儲存

 

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