氣體及蒸汽傳送系統

氣體及蒸汽傳送系統

Apex 氣體混合系統

Apex 氣體混合系統

功能齊全的使用點氣體精準混合解決方案

Apex 氣體混合系統採用 Veeco 經生產驗證的 Piezocon® 氣體濃度感測器,讓製造商可購買成本較低且濃度較高的氣體,然後在使用點加以稀釋,將氣體採購成本立即減少 60% 之多,進而減少生產成本。由於製造商可用 Piezocon 即時測量和控制氣體混合度,因此可免除恆定流體混合器連帶的材料浪費與需不斷刷洗等問題,進一步節省大量成本。Apex 的氣體輸出穩定且氣體濃度控制精密,所以可延長製程工具的運作時間,免除每支氣瓶一有更換後必須重新檢驗品質的需求,因此可減少因例行氣瓶更換造成的停機時間,在某些情況下甚至完全不會有停機的問題。Apex 可協助半導體製造商實現即時控制力、高精準度和高度可重複性,以及更低的擁有成本。

  • 最適合用於需要低濃度、高精密度和成本導向的氣體混合物的應用
  • 相較於個別更換氣瓶時,可重複使用性提升達 10 倍以上
  • 藉由免去短程旅行、重新鑑定和縮短檢驗時間,提高系統正常運作時間
  • 立即將氣體採購成本降低多達 60%
  • 與現有安裝基礎無縫整合,可廣泛適用於太陽能電池、半導體以及更多應用
  • 唯一採用 Veeco Piezocon 氣體濃度感應器作為 ppm 濃度控制的氣體混合系統

如需即時控制、高精密度與可重複使用性以及更低擁有成本,那就放心交給來自 Veeco 的 Apex 氣體混合系統。

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